测量范围测量直径 φ300mm左右移动范围(R轴) 170mm上下移动范围(Z轴) 300mm(高立柱:500mm)装载直径 φ580mm测量高度 外径 300mm回转回转方向 JIS B 7451-1997(0.02+4H/10,000)&m... ...
测量范围及Z轴测量范围(纵方向)&plun;400μmX轴测量范围(横方向)50mm传感器上下移动范围50mm测定分辨率0.00016μm/&plun;4μm~0.016μm/&plun;400μm测量速度(X轴)0.15~1.5mm/s(可... ...
测量范围及Z轴(纵方向)&plun;160μmX轴(横方向)12.5mm测定分辨率0.01μm/&plun;20μm~0.08μm/&plun;160μm测量速度(X轴)0.6mm/s(返回1mm/s)传感器测针半径5μm测针材质金刚石测量... ...
测量范围及Z轴(纵方向)&plun;160μmX轴(横方向)12.5mm测定分辨率0.01μm/&plun;20μm~0.08μm/&plun;160μm测量速度(X轴)0.6mm/s(返回1mm/s)传感器测针半径5μm测针材质金刚石测量... ...